第145章新工藝半導體矽片,測試合格!
在有材料與設備,以及馮承銘這位光刻院士的主導下,芯片光刻過程異常迅速。
五片國産矽片光刻前,需要經曆清洗步驟,去除表面的灰塵、污染物與殘留物。
具體做法是先用濕法清洗一遍,再用去離子水清洗,最後再用六甲基二矽胺烷氣體熏蒸,使矽片表面完全脫水。
隻有經過兩道清洗步驟,一道熏蒸步驟,才能讓半導體矽片達到它本身的11n純淨度,這也是光刻前的關鍵。
别看操作的都是學生,有時候學生更能嚴謹操作。
更别提有馮承銘監工,他們可根本不敢有半點偷懶。
在熏蒸結束以後,五塊半導體矽片被放入傳送機器,送往光刻機内部光刻區域。
馮承銘也早早換好了第一塊光掩膜版,随着設備的啟動,塗膠設備開始自動為矽片塗膠,并進行邊緣膠體修正。
芯片生産步驟大緻分為,清洗、塗膠、烘烤、光刻曝光、peb後烘烤,圖形溶解等。
因為要使用“多重曝光技術”,生産步驟還要重複一遍,繁瑣程度大大提升。
不過!
馮承銘也算是熟手了,生産步驟根本難不倒他。
再怎麼說,他也是跟紅色品質光刻人才林天學過的,算得上是“親傳弟子”。
一個半小時後,五塊12寸半導體矽片已經全部刻滿電路圖案,等待切片封裝。
使用專業設備分割切片後,一位負責芯片檢測的學生立馬使用檢測儀器測試。
片刻後。
他神色一變,連忙來到馮承銘面前道:“老師,這些半導體矽片似乎有點不對勁!”
“什麼?”
馮承銘瞪大了眼。
他沒有管被吓到的學生,而是火急火燎地來到測試設備查看具體數值,頓時整個人愣住了三秒,不可思議道:
“天啊!同樣的生産步驟,為什麼輕舟芯片的功耗會下降,性能卻提升了,陳星,你究竟對半導體矽片做了什麼改良!”
沒想到!
所有人都沒預料到!
這五片11n純淨度,12寸半導體矽片有這等效果,這是颠覆他們認知的新型技術。
絲毫不誇張的說,這件事要是傳出去,芯片生産領域的博主完全可以用這個當做論文主題,順利完成論文答辯。
史無前例!
遙遙領先!
馮承銘深呼吸一口氣,目光看向周圍的幾個博士生,語重心長道:“這件事不能傳出去,嘴巴都給我縫上,但凡走漏風聲,你們隻能止步碩士學曆了。”
威脅,赤裸裸的威脅!
但他沒辦法,這件事事關重大,在沒有搞清楚前,絕不能讓西方知道一丁點消息。
一旦西方得知,龍國企業已經完成了12寸半導體矽片制造,還用了某種不知名技術,讓芯片性能進一步提升,以它們尿性肯定又是滿城風雨,大動幹戈。
“明白了老師。”
“放心,我們嘴巴很嚴的。”
“對對對!”
幾名博士學生連忙保證,本來他們畢業就難,要是還被院士卡住的話,自然而然的,求學之路就走到盡頭了。
“嗯。”
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