當時,盡管櫻花國和鷹國的光刻機企業衆多,但它們卻共同陷入了一片困境。
原因就在于光刻機的光源波長始終無法突破193nm的瓶頸,無法再進一步縮短。
在半導體制造的領域裡,光源波長的縮短直接關聯着芯片制程的先進性。
櫻花國的呢康公司主張采用157納米F2激光技術,而由鷹國主導的EUV聯盟則力推使用極紫外光技術,其光源波長僅十幾納米。
然而,當時的技術瓶頸使得這兩種先進方案都難以實現。
因此,全球半導體行業在這一時期仿佛陷入了停滞不前的狀态。
就在這個關鍵時刻,林苯堅走進了人們的視線。
在寶積電工作的他,腦海中靈光乍現,提出了一個颠覆性的解決方案。
林苯堅建議,在鏡頭與矽片之間引入一層水,讓光線經過水的折射,将波長降至132納米。
如此,投射到矽片的圖案分辨率将更為清晰,晶片的密度也可更上一層樓。
他通過不懈努力和反複實驗,證明了這個方案的可行性。
于是,滿懷信心的林苯堅帶着這個方案走向了櫻花國和鷹國知名半導體公司的洽談桌。
然而,對于林苯堅提出的颠覆性方案,櫻花國和鷹國的光刻機巨頭企業卻持謹慎态度。
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他們認為在鏡頭與矽片間加水會産生氣泡并帶來污染風險,這可能會破壞芯片生産中嚴苛的無塵環境,大大降低産品的良品率。
在他們看來,隻有通過深入研究光源技術、降低光源波長才是正道。
面對拒絕,林苯堅像一位執着的工匠,不斷雕琢改良自己的方案,一次又一次地親自上門,展示他的技術實力。
然而,這些努力并未赢得櫻花國和鷹國知名半導體公司的青睐。
面對這樣的困境,林本堅不得不尋找新的合作夥伴。
他瞄準了當時尚未嶄露頭角的ASML公司。
那時的ASML公司規模很小,就像一間小型作坊,整個公司僅有幾十名員工。
在規模和影響力上,ASML遠遠無法與呢康、佳螚等光刻機巨頭相提并論。
然而,正是這家看似不起眼的公司,卻獨具慧眼地認可了林本堅的方案。
他們看到了林本堅的潛力,決定投入資金支持他的研究。
林本堅不負衆望,在ASML公司的鼎力支持下,僅耗時一年,便成功研發出了浸潤式光刻機,其精度達到了前所未有的高度——132nm!
這一成就如同夜空中璀璨的煙花,瞬間點亮了ASML的前程。
一夜之間,ASML從默默無聞的小公司一躍成為行業的翹楚,打破了呢康、佳螚的壟斷格局。
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